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실리콘 카바이드 화학 증기 증착 용광로는 탄소-탄소 및 탄소-세라믹 복합 재료를 소결시키는 데 사용됩니다. 장비는 탄소 공급원 가스를 열광하여 프리 폼을 밀도가 높거나 코팅합니다. 그중에서도 빠른 증기 증착 장비 (CVI)는 탄소 활용도가 높고 생산 효율이 높아집니다. 이 화학 증기 증착 용광로 (실리콘 카바이드)는 가스 공급원으로서 트리클로로 실란 (MTS)을 갖는 물질의 항산화 코팅 및 기질 변형에 사용될 수있다.
CVD 증기 증착 용광로의 주요 특징 :
1. 고급 제어 기술을 사용하면 가스의 흐름과 압력을 정확하게 제어 할 수 있으며, 용광로의 증착 가스 흐름은 안정적이며 압력 변동 범위는 작습니다.
2. 흑연 박스 밀봉 증착 챔버의 사용은 우울한 밀봉 효과와 강한 방지 능력을 갖는다.
3. 다 채널 증착 가스 경로의 사용은 균일 한 유동장, 증착 죽은 코너 및 우수한 증착 효과를 갖는다.
4. 고 부식성 꼬리 가스, 가연성 및 폭발성 가스, 고체 먼지 및 증착에 의해 생성 된 낮은 융점 점성 제품은 효과적으로 처리 될 수있다;
5. 반응 방지 진공 장치 설계는 긴 연속 근무 시간과 유지 보수 속도가 낮습니다.
6. 퍼니스의 고유 한 공작물 회전 메커니즘은 제품 증착 재료의 균일 성을 효과적으로 보장 할 수 있습니다.
응용 프로그램 범위 :
탄소-탄소 재료 증 증착 용광로는 탄화수소 가스 (예 : C3H8 등)를 갖는 복합 재료의 화학 기상 증착에 사용될 수 있으며, 예 : C/C 복합 재료, SIC 복합 재료 등의 CVD 기화 처리와 같은 탄소 공급원 등.
회사 제품 장점 :
1. 고도의 자동화, 1 버튼 교체 (퍼니스에서 진공 청소기, 아르곤 가스 플러싱 공정에서 진공), 작동 중에 자동 모니터링, 터치 스크린 시뮬레이션은 언제든지 장비 작동 상태를 관찰 할 수 있으며, 장비 경보 표시, 난방 곡선 및 전원 켜기 및 오프 작동을 터치 스크린에서 볼 수 있습니다.
2. 실제 재료, 용광로 바디 및 파이프 라인은 모두 316 개의 부식 방지 스테인레스 스틸 또는 테플론 방지 스프레이로 만들어졌으며 공장을 떠나기 전에 누출 테스트됩니다. 좋은 부식 저항 및 밀봉 성능.
3. 높은 안전성, 용광로 본체에는 자동 폭발 방지 밸브가 장착되어있어 안전하고 신뢰할 수 있습니다. 플로우 스위치는 센서 부품에 별도로 설치되어 물 흐름을 실시간으로 모니터링합니다. 전원 공급 장치는 필요에 따라 과전류 값과 과전압 값을 엄격하고 효과적으로 설정합니다.
4. 장비 통합 모니터링 인터페이스는 PC 쪽에서 원격으로 모니터링 할 수 있습니다. 관리자는 언제든지 장비 작동 상태를 관찰하고 장비 작동 레코드 및 프로세스 매개 변수를 검색 할 수 있습니다.





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